XYY對位平臺(tái) 是一種精密的儀器，那下面我們來了解下關(guān)于XYY對位平臺(tái)的技術(shù)原理是怎么樣的吧。

XYY對位平臺(tái)包括了對位模組固定板、運(yùn)動(dòng)板、X方向移動(dòng)裝置、第一Y方向移動(dòng)裝置和第二Y方向移動(dòng)裝置，X方向移動(dòng)裝置、第一Y左右方向移動(dòng)裝置和第二左右Y方向移動(dòng)裝置分別與對應(yīng)對位模組固定板、對該運(yùn)動(dòng)板活動(dòng)連接，還包括設(shè)置在該對位模組固定板上的X方向動(dòng)力裝置、第一Y方向動(dòng)力裝置和第二Y方向動(dòng)力裝置，X方向動(dòng)力裝置帶動(dòng)X方向移動(dòng)裝置沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，X方向移動(dòng)裝置帶動(dòng)該運(yùn)動(dòng)板沿X方向往復(fù)移位，第一Y方向動(dòng)力裝置帶動(dòng)第一Y方向移動(dòng)裝置沿Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第一Y方向移動(dòng)裝置帶動(dòng)該運(yùn)動(dòng)板沿Y方向往復(fù)移位，第二Y方向動(dòng)力裝置帶動(dòng)第二Y方向移動(dòng)裝置沿Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第二Y方向移動(dòng)裝置帶動(dòng)該運(yùn)動(dòng)板沿Y方向往復(fù)移位。

X方向移動(dòng)裝置包括X方向移動(dòng)板，X方向移動(dòng)板與該運(yùn)動(dòng)板通過軸承活動(dòng)連接，X方向移動(dòng)板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動(dòng)。

第一Y方向移動(dòng)裝置包括第一Y方向移動(dòng)板，第一Y方向移動(dòng)板與該運(yùn)動(dòng)板通過軸承活動(dòng)連接，第一Y方向移動(dòng)板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動(dòng)。

第二Y方向移動(dòng)裝置包括第二Y方向移動(dòng)板，第二Y方向移動(dòng)板與該運(yùn)動(dòng)板通過軸承活動(dòng)連接，第二Y方向移動(dòng)板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第三固定板滑槽往復(fù)移動(dòng)，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動(dòng)

X方向動(dòng)力裝置包括電機(jī)和與該電機(jī)固定連接的偏心輪，該偏心輪與X方向移動(dòng)板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與X方向移動(dòng)板之間的間隙。

第一Y方向動(dòng)力裝置包括電機(jī)和與該電機(jī)固定連接的偏心輪，該偏心輪與第一Y方向移動(dòng)板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第一Y方向移動(dòng)板之間的間隙。

第二Y方向動(dòng)力裝置包括電機(jī)和與該電機(jī)固定連接的偏心輪，該偏心輪與第二Y方向移動(dòng)板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第二Y方向移動(dòng)板之間的間隙。