當(dāng)前最新式供給了一種曝光機自動XYY對位平臺體系，包含了對位模組固定板、運動板、X方向移動設(shè)備、榜首Y方向移動設(shè)備和第二Y方向移動設(shè)備，X方向移動設(shè)備、榜首Y左右方向移動設(shè)備和第二左右Y方向移動設(shè)備別離與對應(yīng)對位模組固定板、對該運動板活動銜接，

       還包含設(shè)置在該對位模組固定板上的X方向動力設(shè)備、榜首Y方向動力設(shè)備和第二Y方向動力設(shè)備，X方向動力設(shè)備帶動X方向移動設(shè)備沿X方向往復(fù)運動，X方向移動設(shè)備帶動該運動板沿X方向往復(fù)移位，榜首Y方向動力設(shè)備帶動榜首Y方向移動設(shè)備沿Y方向往復(fù)運動，榜首Y方向移動設(shè)備帶動該運動板沿Y方向往復(fù)移位，第二Y方向動力設(shè)備帶動第二Y方向移動設(shè)備沿Y方向往復(fù)運動，第二Y方向移動設(shè)備帶動該運動板沿Y方向往復(fù)移位。

        X方向移動設(shè)備包含X方向移動板，X方向移動板與該運動板經(jīng)過軸承活動銜接，X方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的榜首固定板滑槽往復(fù)移動，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。

        首先Y方向移動設(shè)備包含榜首Y方向移動板，榜首Y方向移動板與該運動板經(jīng)過軸承活動銜接，榜首Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復(fù)移動，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。

        第二Y方向移動設(shè)備包含第二Y方向移動板， 第二Y方向移動板與該運動板經(jīng)過軸承活動銜接，第二Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該自動對位平臺模組固定板上的第三固定板滑槽往復(fù)移動，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動

        X方向動力設(shè)備包含電機和與該電機固定銜接的偏心輪，該偏心輪與X方向移動板之間經(jīng)過繃簧銜接，該繃簧消除該偏心輪與X方向移動板之間的空隙。

         榜首Y方向動力設(shè)備包含電機和與該電機固定銜接的偏心輪，該偏心輪與榜首Y方向移動板之間經(jīng)過繃簧銜接，該繃簧消除該偏心輪與榜首Y方向移動板之間的空隙。

        第二Y方向動力設(shè)備包含電機和與該電機固定銜接的偏心輪，該偏心輪與第二Y方向移動板之間經(jīng)過繃簧銜接，該繃簧消除該偏心輪與第二Y方向移動板之間的空隙。

       新式有益作用：新式曝光機的對位體系XYY組織由一個X方向的軸向運動設(shè)備，搭配兩個Y方向軸向運動設(shè)備，使自動對位平臺體系的運動更為流暢，組織更為安穩(wěn)個壽數(shù)的使用期，新式推進了曝光機對位體系的一大步技術(shù)進步。