UVW平臺(tái)優(yōu)勢(shì)

1、這是一種可以實(shí)現(xiàn)以平面上任意一點(diǎn)為中心，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的裝置，并可沿著任意的方向平移。
    此平臺(tái)和視覺CCD糾偏系統(tǒng)對(duì)接在一起，可以很快完成高精度的糾偏工作，重復(fù)定位精度一般可達(dá)±1μm；

UVW平臺(tái)和xyθ平臺(tái)對(duì)比性：

1、控制精度高于xyθ平臺(tái)；
2、UVW平臺(tái)可以平面上任意一點(diǎn)為中心做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，而xyθ平臺(tái)由于僅僅依靠一個(gè)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)控制，所以旋轉(zhuǎn)中心必須是固定在平臺(tái)上某處，且必須隨平臺(tái)一同運(yùn)動(dòng)。
3、基于第二點(diǎn)的區(qū)別，顯然UVW平臺(tái)是需要一個(gè)絕對(duì)坐標(biāo)系作為參考系，其旋轉(zhuǎn)中心才有意義；而xyθ平臺(tái)則必須是一個(gè)隨平臺(tái)動(dòng)的坐標(biāo)系作為參考系，控制計(jì)算方法便完全不一樣。